| 产品详情
HPL410系列由无齿隙直线电机驱动，采用液体静压技术实现导轨的精密移动，拥有高阻尼、高刚性，以及可实现高低速横移移动的特点，它是实现快速往复振荡运动的最佳方案，低速时无摩擦，无粘滑现象，从而可实现超高定位精度。
| 产品特点
· 低速无摩擦
· 高刚性设计
· 高柔线缆管理
· 纳米级的定位精度
· 可定制化（可定制多种行程）
· 反向移动无机械滚动元件的跳动现象
· 热稳定性高，主动油循环和冷却设计直接散热
· 分辨率1nm，重复定位精度±200nm，定位精度±350nm
| 产品参数
| 机械规格 | HPL410-200 | HPL410-300 | HPL410-400 | |
| 行程 | 200mm | 300mm | 400mm | |
| 绝对定位精度 | ±350nm | ±500nm | ±650nm | |
| 重复定位精度（单向） | ±200nm | ±300nm | ||
| 重复定位精度（双向） | ±280nm | ±400nm | ||
| 分辨率 | 0.1nm | |||
| 直线度 | ±0.35um | ±0.5um | ±0.7um | |
| 平面度 | ±0.35um | ±0.5um | ±0.7um | |
| 偏摆 | ±3arcsec | ±5arcsec | ±7arcsec | |
| 俯仰 | ±3arcsec | ±5arcsec | ±7arcsec | |
| 滚动 | ±3arcsec | ±5arcsec | ±7arcsec | |
| 最大速度 | 500mm/s | |||
| 最大加速度（空载） | 0.8g | |||
| 最小步进量 | 1nm | |||
| 负载能力（水平） |
250kg |
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| 负载能力（偏心） | 150kg | |||
| 部分移动重量 | 143kg | |||
| 平台质量 | 450kg | 590kg | 750kg | |
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材料 |
镀镍合金 | |||
| 平均使用寿命 | 15000h | |||
备注：
默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关
对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器
空载，需配置相应功率的线性放大器；
有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心
为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
