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气浮主轴

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ARS80系列采用小孔节流作为气浮支撑,具有大尺寸的空气轴承表面,可以产生高刚度和大负载能力,拥有极低的径向跳动和轴向跳动。ARS80系列经过精密计算,拥有极佳的静态和动态精度。
 

| 产品特点

· 高响应速度
· 无机械接触
· 具有出色的速度稳定性
· 出色的误差运动和摆动性能
· 高扭矩输出、无框直驱电机

· 可配置双光栅尺读数头设计
· 采用水冷设计,保证热稳定性
· 活的配置选项(可定制中空的版本)
· 径向跳动小于100nm,轴向跳动小于80nm

 

| 产品参数

 

机械规格 ARS80H ARS80
台面尺寸 140
光栅刻线 11840
转角精度 ±18arcsec
单向重复精度 ±8arcsec
双向重复精度 ±12arcsec
最大速度 2000rpm
冷却方式 水冷
治具固定方式 真空吸盘
额定转矩(空载) 1.35N·m
最大转矩(空载) 5.4N·m
分辨率 1arcsec
径向跳动 80nm 100nm
轴向跳动 50nm 80nm
最小步进量 5arcsec 5arcsec
负载能力(水平)

15kg

10kg
负载能力(垂直) 20kg 15kg
平台质量 56kg 62kg

材料 

镀镍合金 
平均使用寿命 15000h

 

备注:

默认测试点位置为台面上方25mm,单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关
对于更高的需求,需要配备海德汉光栅尺和线性放大器
空载,需配置相应功率的线性放大器;
有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心
为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性,环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。