| 产品详情
MCHL系列由直线电机驱动，配备了高精度高刚性、抗蠕变的交叉滚柱导轨。MCHL针对高动态和高刚度进行了优化，可实现高伺服带宽，同时最大化可用通光孔径并将总体高度保持在最低限度。
| 产品特点
- 高响应速度
- 高柔线缆管理
- 纳米级的定位精度
- 高精度防蠕动交叉滚柱导轨
- 高动态性能（截止频率大于100Hz）
- 灵活的配置选项（可配置单电机的形式）
- 分辨率1nm，重复定位精度±250nm，定位精度±500nm
| 产品参数
| 机械规格 | MCHL-150XY | MCHL-250XY | MCHL-350XY | |
| 中空大小 | 180mm | 270mm | 330mm | |
| 行程 | 120mm | 350mm | ||
| 绝对定位精度 | ±500nm | ±650nm | ±850nm | |
| 重复定位精度（单向） | ±250nm | ±350nm | ||
| 重复定位精度（双向） | ±350nm | |||
| 分辨率 |
1nm |
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| 直线度 | ±0.8um | ±1um | ||
| 平面度 | ±2.5um | ±3.5um | ||
| 偏摆 | ±10arcsec | ±12arcsec | ±15arcsec | |
| 俯仰 | ±10arcsec | ±12arcsec | ±15arcsec | |
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滚动 |
±10arcsec | ±12arcsec | ±15arcsec | |
| 正交性 | ±12arcsec | |||
| 最大速度 | 200mm/s | |||
| 最大加速度（空载） | 1g | |||
| 最小步进量 |
10nm |
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| 负载能力（水平） | 20kg | |||
| 部分移动重量（上轴） | 5.8kg | |||
| 部分移动重量（下轴） | 25.5kg | 48.5kg | 80.5kg | |
| 平台质量 | 40.5kg | 70.4kg | 112kg | |
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材料 |
阳极电镀铝 | |||
| 平均使用寿命 | 30000h | |||
备注：
默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关
对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器
空载，需配置相应功率的线性放大器；
有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心
为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
