| 产品详情
APL210Z系列由无齿隙直线电机驱动，其中多孔介质产生均匀的气膜实现运动台无摩擦、无振动的平滑移动。由于非接触式结构，并且系统配有高精度的光栅尺，因此系统的跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升，定位精度和重复定位精度得到了显著改善。
| 产品特点
· 高响应速度
· 高柔线缆管理
· 零摩擦配重气缸
· 多孔介质气浮轴承
· 纳米级的定位精度
· 可定制化（可定制陶瓷结构）
· 高动态性能（截止频率大于100Hz）
· 分辨率0.1nm，重复定位精度±150nm，定位精度±300nm
| 产品参数
| 机械规格 | APL210Z-50 | APL210Z-100 | APL210Z-150 | |
| 行程 | 200mm | 250mm | 300mm | |
| 绝对定位精度 | ±300nm | ±450nm | ||
| 重复定位精度（单向） | ±150nm | ±200nm | ||
| 重复定位精度（双向） | ±200nm | ±250nm | ||
| 分辨率 | 0.1nm | |||
| 直线度 | ±0.4um | ±0.6um | ||
| 平面度 | ±0.4um | ±0.6um | ||
| 偏摆 | ±1.5arcsec | ±2arcsec | ±2.5arcsec | |
| 俯仰 | ±1.5arcsec | ±2arcsec | ±2.5arcsec | |
| 滚动 | ±1.5arcsec | ±2arcsec | ±2.5arcsec | |
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平衡气压 |
＞0.2Mpa | |||
| 最大速度 | 200mm/s | |||
| 最大加速度（空载） | 0.5g | |||
| 最小步进量 | 3nm | |||
| 负载能力（水平） |
15kg |
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| 部分移动重量（下轴） | 6.7kg | |||
| 平台质量 | 21.5kg | 25.6kg | 30.2kg | |
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材料 |
阳极电镀铝 | |||
| 平均使用寿命 | 15000h | |||
备注：
默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关
对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器
空载，需配置相应功率的线性放大器；
有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心
为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
