| 产品详情
MCT130XY系列由于其一体式的双轴设计，拥有卓越的平面性能和几何特性。由直线电机驱动，配备了刚性、抗蠕变的交叉滚柱导轨，高分辨率位置反馈，现最平滑、最精确的运动。
| 产品特点
- 高响应速度
- 纳米级的定位精度
- 防端动交叉滚柱导轨
- 结构紧凑，XY一体化设计
- 高动态性能（截止频率大于100Hz）
- 灵活的配置选项（XY可定制不等距行程）
- 分辨率1nm，重复定位精度±200nm，定位精度±350nm
| 产品参数
| 机械规格 | MCT130XY-050-050 | MCT130XY-100-100 | MCT130XY-150-150 | |
| 行程 | 50mmx50mm | 100mmx100mm | 150mmx150mm | |
| 绝对定位精度 | ±350nm | ±400nm | ||
| 重复定位精度（单向） | ±200nm | |||
| 重复定位精度（双向） | ±250nm | |||
| 分辨率 |
1nm |
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| 直线轴 | ±0.5um | ±0.7um | ±1um | |
| 平面度 | ±2um | ±2.5um | ±3um | |
| 偏摆 | ±10arcsec | ±12arcsec | ±15arcsec | |
| 俯仰 | ±10arcsec | ±12arcsec | ±15arcsec | |
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滚动 |
±8arcsec | ±10arcsec | ±12arcsec | |
| 正交性 | ±10arcsec | ±15arcsec | ±20arcsec | |
| 最大速度 | 200mm/s | |||
| 最大加速度（空载） | 1g | |||
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在位稳定性 |
＜10nm | |||
| 跟随误差 | ＜10nm | |||
| 最小步进量 |
10nm |
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| 负载能力 | 12kg | |||
| 部分移动重量（上轴） | 0.6kg | 1.1kg | 1.5kg | |
| 部分移动重量（下轴） | 3.8kg | 4.6kg | 5.9kg | |
| 平台质量 | 5.6kg | 7.4kg | 9.1kg | |
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材料 |
黑色阳极电镀铝 | |||
| 平均使用寿命 | 30000h | |||
备注：
默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关
对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器
空载，需配置相应功率的线性放大器；
有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心
为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
