| 产品详情
APRH系列采用多孔材料作为气浮支撑，可实现高刚度和大负载的能力，不仅具有出色的轴向和径向误差，而且还拥有出色的倾斜误差运动。由此产生的性能明显优于其他旋转空气轴承工作台和主轴，极大有利于需要卓越平面性能的应用。
| 产品特点
· 无机械接触
· 高响应速度
· 高扭矩输出、无框直驱电机
· 出色的误差运动和摆动性能
· 零齿槽电机具有出色的速度稳定性
· 灵活的配置选项（可定制中空的版本）
· 分辨率0.1arcsec，重复定位精度±5arcsec，定位精度±15arcsec
| 产品参数
| 机械规格 | APRH100 | APRH150 | APRH200 | |
| 台面尺寸 | 100mm | 150mm | 200mm | |
| 光栅刻线 | 9000 | 16384 | 23600 | |
| 转角精度 | ±15arcsec | ±12arcsec | ±8arcsec | |
| 单向重复精度 | ±5arcsec | ±4arcsec | ||
| 双向重复精度 | ±7arcsec | ±6arcsec | ||
| 最大速度 | 800rpm | |||
| 最大加速度（空载） | 410rad/s² | 250rad/s² | 185rad/s² | |
| 额定转矩（空载） | 0.4N·m | 1.35N·m | 2.5N·m | |
| 最大转矩（空载） | 1.4N·m | 5.4N·m | 10N·m | |
| 分辨率 | 0.1arcsec | |||
| 径向跳动 | 0.3um | 0.5um | 0.7um | |
| 轴向跳动 | 1um | |||
| 最小步进量 | 0.2arcsec | |||
| 负载能力（水平） |
10kg |
20kg | 35kg | |
| 负载能力（垂直） | 3kg | 6kg | 10kg | |
| 平台质量 | 4.4kg | 7.5kg | 13.4kg | |
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材料 |
阳极电镀铝 | |||
| 平均使用寿命 | 25000h | |||
备注：
默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关
对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器
空载，需配置相应功率的线性放大器；
有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心
为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。
