| 产品详情

APL210系列由无齿隙直线电机驱动，其中多孔介质产生均匀的气膜实现运动台无摩擦、无振动的平滑移动。由于非接触式结构，并且系统配有高精度的光栅尺，因此系统的跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升，定位精度和重复定位精度得到了显著改善。
 

| 产品特点

· 高响应速度
· 高刚性设计
· 高柔线缆管理
· 纳米级的定位精度

· 多孔介质气浮轴承
· 可定制化（可定制陶瓷结构）
· 高动态性能（截止频率大于100Hz）
· 分辨率1nm，重复定位精度+80nm，定位精度±200nm
 

| 产品参数

备注：

默认测试点位置为台面上方25mm，单轴指标、多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关
对于更高的需求，需要配备海德汉光栅尺和线性放大器
空载，需配置相应功率的线性放大器；
有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心
为了确保规范在较长时间内的实现和可重复性，环境温度必须控制在每24小时1℃的变化范围内。