| 机床概要
本设备主要用于测量光器件中的 MPO/MT、带状 FA、2D FA 及 V 槽等元件。这类元件的制造精度要求极高，旨在实现高密度集成、最大限度降低连接损耗并保持形状稳定。为此，设备采用专用光学系统和高分辨率相机采集被测图像，并结合专有的图像处理算法，有效提升测量结果的可重复性。X 轴与 Z 轴均配备激光干涉仪，可进一步抑制位移台引起的定位误差及沿测量方向的直线度误差，从而提高测量精度。通过 PC 控制 XYZ 自动平台及照明强度，可实现高精度尺寸测量，并支持设置标准值进行检测。为保证导轨运动精度与加工稳定性，机床整体基座采用大理石材质，以降低温度变化对测量过程的影响。此外，设备配有多种高倍率显微镜头，可满足多种产品的测量需求。
| 产品参数
| 产品系列 | 精密FA测量仪 | |
| 产品型号 | ODI-1440 | |
| 测量方式 | 高精度影像 | |
| 各轴行程 | X轴（工件左右） | 100 mm |
| Y 轴（工件前后） | 4mm | |
| Z轴（工件上下） | 20mm | |
| 最小设定单位 | X轴 | 0.001 um |
| Y 轴 | 0.001 um | |
| Z轴 | 0.001 um | |
| 运动精度 （直线度） |
X轴 | ≤2 um/100mm |
| Y 轴 | ≤0.5 um/4mm | |
| Z轴 | ≤1 um/20mm | |
| 定位精度 | X/Z轴 | ＜30nm/℃ |
| Y轴 | ＜±1μm | |
| 机床尺寸 | W*D*H | 1200mm*1000mm*2000mm |
| 重量 | 约 500 kg | |
| 设备前期准备 | 长×宽×高 | AC220V±10% 单相 50/60 Hz±2% 1.5kVA |
| 气压 | ≥0.6MPa | |
| 环境要求 | 20-24°C（标准 21°C)，温度波动±0.5°C以下，湿度 45±5% RH | |
