精点科技纳米级光学轮廓测量仪通过国家计量院认证 国产超精密检测设备实现“零的突破”

2025年3月15日，广州精点科技有限公司自主研发的JDM-3000纳米级光学轮廓测量仪获中国计量科学研究院权威认证，测量精度达±0.3nm，成为国内首款通过国家级认证的亚纳米级光学检测设备，正式打破日本Mitaka、德国Bruker在该领域的30年技术垄断。

• 该设备采用自主开发的多波长干涉融合算法，可在0.1秒内完成非球面镜头全表面形貌扫描，较进口设备效率提升40%；
• 已应用于华为手机潜望式镜头模组量产线，实现光学面型误差实时补偿，助力客户良率提升至98.5%；
• 国家光学机械质量监督检验中心评价：“填补了我国在纳米级光学元件在线检测领域的空白，为光刻机物镜等‘卡脖子’部件攻关提供关键支撑。”

据《中国光学制造白皮书》显示，2024年国内高端光学检测设备进口依赖度超85%，单台设备采购成本超2000万元。精点科技此次突破使国产设备价格降至进口产品的60%，预计3年内可替代30%市场份额。

“检测精度决定制造上限。”精点科技创始人姚洪辉博士表示，“我们将持续投入AI驱动的智能检测技术研发，年内推出支持半导体晶圆缺陷识别的升级版本。”